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介电层怎么存在栅极怎么改变源极与漏极
发布网友
发布时间:2024-05-14 19:54
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1
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热心网友
时间:2024-05-28 17:02
介电层用高介电常数栅极改变源极与漏极。由于量子力学效应,电子会发生隧穿,产生沟道到栅极的漏电,削减源极漏极间的开电流。在不牺牲电容的情况下,为了让介电层变厚,只能换用高介电常数(high-k)的材料,有很大的可能性在高温工艺下扩散进Si,导致器件栅极天生带正电,影响开启电压和开启速度。
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